Hexafluoroethane (C2F6) ، والمعروف أيضًا باسم Perfluoroethane ، هو نوع من الغاز الخامل عديم اللون ، غير القابل للارتداد. نقطة الانصهار هي 100.6 ℃ ، نقطة الغليان هي 78.2 ℃ ، قابلة للذوبان قليلاً في الماء. نظرًا لاستقرارها غير السهل غير السامة والرائحة والعالية ، يستخدم سداسي فلورويثان على نطاق واسع في عملية تصنيع أشباه الموصلات. يتمتع Hexafluoroethane ، بصفته خلاصة جافة ، بمزايا الحفر الصغيرة جدًا على جانب الحافة ، ومعدل الحفر المرتفع ودقة عالية ، والتي يمكن أن تلبي متطلبات عملية تصنيع أشباه الموصلات لعرض الخط الصغير.
مواصفات جودة سداسي فلورويثان ：
|
Items
|
单位 Unit
|
Indexs
|
|
C2F6
|
Vol.%
|
≥99.999
|
|
O2+Ar
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
N2
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CO
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
CO2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
H2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
Halohydrocarbon
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CH4
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
H2O
|
Vol.ppm
|
＜2
|
|
Acidity（Measured by HF）
|
Wt. ppm
|
＜0.1
|
|
Total impurity content
|
Mol.ppm
|
≤10
|
طلب:
يستخدم سداسي فلو إيثيثان من الدرجة الإلكترونية بشكل أساسي في عملية تصنيع مواد أشباه الموصلات وأجهزة أشباه الموصلات كعامل حفر وعامل تنظيف ، وكذلك غاز العزل وقوة عازلة عالية.
التغليف والتخزين ：
يتم ملء Hexafluoroethane في أسطوانات نظيفة وجاف سلسة مع علاج خاص. أحجام الأسطوانات هي 4L و 8L و 10L و 12.5L و 40L وما إلى ذلك يمكن تخصيص مواصفات التغليف وفقًا لمتطلبات العملاء.
( 0 )سلة الاستفسارات 
مسح لزيارة
