مواد عملية أشباه الموصلات perfluorobutadiene

Perfluorobutadiene هو نوع من الأوليفينات المترافق التي تحتوي على ستة ذرات الفلور وربطين مزدوج الكربون ، كنوع من الغاز المحفور الممتاز ، بسبب نسبة F/C الفريدة ، فإن perfluorobutiene لها انتقائية حفر أعلى ودقة ونسبة عرضية من تلك يمكن أن يحفر غاز الحفر الفلوروكربون المشبع التقليدي ، حيث يمكن أن يحفر perfluorobutadiene أقل من 100 نانومتر حتى الدائرة الإلكترونية الأضيق. بالإضافة إلى ذلك ، يتمتع C4F6 بنسبة انتقائية أعلى من مقاوم الضوئي ونيتريد السيليكون من تلك التي في C4F8 ، والتي يمكن أن تحسن ثبات الحفر ، ومعدل الحفر والتوحيد ، وبالتالي تحسين جودة المنتج.