مواد عملية أشباه الموصلات ثلاثي فلوريد النيتروجين

يعتبر ثلاثي فلوريد النيتروجين في صناعة الإلكترونيات الدقيقة نوعًا من الغاز الممتاز لحفر البلازما ، والذي يتم تصدعه في أيون فلور نشط أثناء عملية حفر البلازما. من أجل حفر البلازما للسيليكون ونيتريد السيليكون ، فإن استخدام ثلاثي فلوريد النيتروجين له معدل نقش أعلى وانتقائية من استخدام رباعي الستترابرايد الكربوني أو رباعي الستراتفلوريد والكربون والأكسجين ، وخاصة في عملية حفر مادة الدائرة المتكاملة أقل من 1.5 μM ، يحتوي ثلاثي فلوريد النيتروجين على معدل نقش ممتاز وانتقائية ، والأكثر من ذلك ، لا يوجد تلوث على سطح المواد المحفورة ، وهو أيضًا عامل تنظيف جيد.