مقدمة المنتج
Trifluoride النيتروجين (NF 3 ) هو نوع من الغاز عديمة اللون ، عديمة الرائحة ومستقرة للشخصية ، وهو أيضًا نوع من المؤكسدة القوية. نقطة الانصهار هي 206.8 ℃ ، نقطة الغليان هي 129.0 ℃ ، غير قابلة للذوبان في الماء. يعتبر ثلاثي فلوريد النيتروجين في صناعة الإلكترونيات الدقيقة نوعًا من الغاز الممتاز لحفر البلازما ، والذي يتم تصدعه في أيون فلور نشط أثناء عملية حفر البلازما. من أجل حفر البلازما للسيليكون ونيتريد السيليكون ، فإن استخدام ثلاثي فلوريد النيتروجين له معدل نقش أعلى وانتقائية من استخدام رباعي الستترابرايد الكربوني أو رباعي الستراتفلوريد والكربون والأكسجين ، وخاصة في عملية حفر مادة الدائرة المتكاملة أقل من 1.5 μM ، يحتوي ثلاثي فلوريد النيتروجين على معدل نقش ممتاز وانتقائية ، والأكثر من ذلك ، لا يوجد تلوث على سطح المواد المحفورة ، وهو أيضًا عامل تنظيف جيد.
مواصفات الجودة
|
Items
|
Unit
|
Indexs
|
|
（NF3）≥
|
Vol.%
|
99.5
|
99.9
|
99.98
|
99.99
|
99.996
|
|
（CF4）≤
|
Vol.ppm
|
1500
|
500
|
100
|
50
|
20
|
|
（N2）≤
|
Vol.ppm
|
700
|
50
|
10
|
10
|
5
|
|
（O2+Ar））≤
|
Vol.ppm
|
700
|
50
|
10
|
5
|
3
|
|
（CO）≤
|
Vol.ppm
|
50
|
10
|
10
|
5
|
1
|
|
（CO2）≤
|
Vol.ppm
|
25
|
10
|
10
|
5
|
0.5
|
|
（N2O）≤
|
Vol.ppm
|
50
|
10
|
10
|
5
|
1
|
|
（SF6）≤
|
Vol.ppm
|
50
|
50
|
10
|
5
|
2
|
Hydrolyzable fluoride
（Measured by HF）≤
|
Vol.ppm
|
1
|
1
|
1
|
1
|
1
|
|
（H2O）≤
|
Vol.ppm
|
1
|
1
|
1
|
1
|
1
|
طلب
يمكن استخدام ثلاثي فلوريد النيتروجين كمصدر للفلور لغاز الليزر الكيميائي عالي الطاقة وكعامل للحفر لمواد أشباه الموصلات مثل البوليسيليكون ، نيتريد السيليكون والسيلكستن. يمكن أيضًا استخدامه كعامل تنظيف لغرفة ترسيب البخار الكيميائي ولوحة LCD. يستخدم Trifluoride النيتروجين كعامل تنظيف لصندوق CVD ، والذي يمكن أن يقلل من انبعاث الملوثات بنسبة 90 ٪ مقارنة مع perfluorocarbons ، ويحسن بشكل كبير سرعة التنظيف وقدرة التنظيف.
التغليف والتخزين
يتم ملء النيتروجين ثلاثي فلوريد e في اسطوانة سلسة الصلب مع حجم 8L و 40L و 43.3L و 47L ، على التوالي. ضغط الاسطوانة هو 9.0-13.0mpa. يمكن تخصيص مواصفات التغليف وفقًا لمتطلبات العملاء.
( 0 )سلة الاستفسارات 
مسح لزيارة
