مقدمة المنتج
Perfluorobutadiene (C4F6) هو نوع من الغاز غير القابل للذوبان غير القابل للذوبان في الماء. نقطة الانصهار هي 132.0 ℃ ، نقطة الغليان هي 5.9 ℃. Perfluorobutadiene هو نوع من الأوليفينات المترافق التي تحتوي على ستة ذرات الفلور وربطين مزدوج الكربون ، كنوع من الغاز المحفور الممتاز ، بسبب نسبة F/C الفريدة ، فإن perfluorobutiene لها انتقائية حفر أعلى ودقة ونسبة عرضية من تلك يمكن أن يحفر غاز الحفر الفلوروكربون المشبع التقليدي ، حيث يمكن أن يحفر perfluorobutadiene أقل من 100 نانومتر حتى الدائرة الإلكترونية الأضيق. بالإضافة إلى ذلك ، يتمتع C4F6 بنسبة انتقائية أعلى من مقاوم الضوئي ونيتريد السيليكون من تلك التي في C4F8 ، والتي يمكن أن تحسن ثبات الحفر ، ومعدل الحفر والتوحيد ، وبالتالي تحسين جودة المنتج.
مواصفات الجودة
|
Items
|
Unit
|
Index
|
|
C4F6
|
Vol.%
|
≥99.99
|
|
N2
|
Vol.ppm
|
≤10
|
|
O2+Ar
|
Vol.ppm
|
≤2
|
|
H2O
|
Vol.ppm
|
≤3
|
|
CO2
|
Vol.ppm
|
≤10
|
|
CO
|
Vol.ppm
|
≤3
|
|
Isopropanol
|
Vol.ppm
|
≤5
|
|
Other fluorocarbon
|
Vol.ppm
|
≤70
|
|
（Measured by HF）
|
Wt.ppm
|
≤2
|
طلب
تستخدم كحفر غاز لحفر البلازما لمنتجات أشباه الموصلات.
التغليف والتخزين
تمتلئ perfluorobutadiene أسطوانات فولاذية مع نموذج B10 ، بحجم 14 سم × 83 سم ، والحجم الداخلي 10.1L ، والوزن الإجمالي 14.7 كجم ، حمولة 10 كجم. يمكن تخصيص مواصفات التغليف وفقًا لمتطلبات العملاء.
( 0 )سلة الاستفسارات 
مسح لزيارة
